金融界2024年12月11日音讯，国家知识产权局信息数据显现，卡尔蔡司SMT有限责任公司获得一项名为“用于表征微光刻掩模的设备和办法”的专利，授权公告号CN 113820916 B，请求日期为2021年6月。

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