2023年2月24日晚间，据上市公司公告消息，国内知名的半导体清理洗涤设施厂商盛美上海发布最新动态及财报数据。

  据悉，盛美上海公司拟以超募资金2.45亿元向全资孙公司盛美韩国增资以新建并实施盛美韩国半导体设备研发与制造中心项目，并同意通过技术许可的方式，将现有成熟技术授权于盛美韩国，应用到本项目的研发生产中。

  根据官网消息，盛美是一家专注于对先进集成电路制造、先进晶圆级封装制造及大硅片制造领域半导体设备研发、生产和销售的半导体企业，公司通过向半导体芯片制造商提供高性能、低消耗的工艺解决方案，致力于提升客户的生产效率和产品良率，盛美在国内半导体产业链中有很重要的地位，尤其是晶圆清洗领域，妥妥的龙头企业。

  盛美能成为半导体企业重视的合作伙伴，与其强大的实力密不可分。2022年12月31日，建筑面积达13.8万平方米的盛美临港项目正式封顶，目前规划两座研发楼、两座高层厂房、一座辅助厂房。

  据相关的人偷偷表示，盛美将在辅助厂房配备与集成电路生产线相同等级的研发测试洁净室，加快公司产品工艺测试验证和改进升级测试。盛美上海本着研发生产一体化的目标，首次在临港实现了研发生产混合用地。建成后规划年产能超600台，年产值人民币100亿元。有了质量和产能保证，大部分国内客户采购盛美的半导体设备，影响力与日俱增。

  强大的产能也让盛美2022年赚的盆满钵满，半导体芯情根据披露的年报信息获悉，2022年盛美上海的营业收入为28.73亿元，同比增长77.25%；净利润6.68亿元，同比增长151.08%；基本每股盈利1.54元；拟每10股派发现金红利3.72元（含税），这个业绩基本符合市场预期，毕竟半导体产业在2022年经历了很多风风雨雨，设备厂商的业绩能达到1.5倍增长已经很厉害了。

  盛美营收不到25亿，估值很高，截止2.24收盘价，盛美市值374.33亿元人民币，在大A半导体领域上市企业市值排行里面可以挤进前20了。这些成绩离不开其多面的耕耘，有一个关键决策对盛美的江湖地位具备极其重大影响，那就是上面提到的高价收购韩国半导体设备商。

  2月6日，盛美上海发布了重要的公告：公司拟以自有资金1,673.73万美元（约1.14亿人民币）受让Choi Moon-soo、Kang Young-sook和Choi Ho-yeon分别持有的 Ninebell Co., Ltd. (Ninebell) 13%、5%及2%股权。本次受让完成后，公司将持有Ninebell 20%股权。

  据半导体芯情了解到，Ninebell为韩国专注于生产机器人手臂的公司，工艺技术水平较高，是盛美半导体单片清理洗涤设施及别的设备中传送系统的机器人手臂的主要供应商，其机器人手臂产品与公司产品具备比较好的匹配性，是盛美上海的主要上游公司。目标公司大股东之一ACM RESEARCH, INC.在早期持有了目标公司20%的股权，而ACM RESEARCH就是盛美上海的美国主体（公司实际控制人为王晖，公司曾成立于美国并在美股上市）。

  此次盛美上海的再次收购，无疑是对Ninebell的进步把控，以防公司单片半导体清理洗涤设施生产所需的机器人手臂出现断供问题。

  对于收购的详细情况，虽然Ninebell近期业绩还行，但此次收购的价格可并不“便宜”。要知道，截至2022年9月30日，标的公司资产总额为3.03亿元人民币。但此次收购最终采用了收益法评估，估值结论为58,580.43万元，较被估值企业净资产账面值估值增值44,993.54万元，评估增值率高达331.15%。

  Ninebell九成的营收皆源于盛美上海。对此，华北一家投资机构人士及部分股民认为此种情况容易滋生“利益输送”。但晨哨观察，高溢价对盛美来说也许是无奈之举。

  半导体芯情获悉，盛美上海是国内半导体清理洗涤设施领军企业。清洗步骤是芯片制造工艺步骤占比最大的工序，约占所有芯片制造工序步骤的 30% 以上。伴随半导体制造技术节点的进步，清洗工序的数量和重要性将继续提高。

  在半导体芯片工艺技术节点进入 28nm、14nm 以及更先进等级后，工艺流程的延长且越趋复杂，产线成品率也会随之下降。造成此现状的一个缘由是先进制程对杂质的敏感度更高，小尺寸污染物的高效清洗更困难。

  解决的方法主要是增加清洗步骤。每个晶片在整个制作的完整过程中需要甚至超过 200 道清洗步骤，晶圆清洗变得更复杂、重要及富有挑战性。

  随着晶圆加工制程升级对清洗次数的需求明显提升。在湿法清洗工艺路线下，目前主流的清理洗涤设施最重要的包含单片清理洗涤设施、槽式清理洗涤设施、 组合式清理洗涤设施和批式旋转喷淋清理洗涤设施等，其中单片清理洗涤设施市场占有率占比最高。

  在集成电路制造的先进工艺中，单片清洗已逐步取代槽式清洗成为主流。首先，单片清洗能够在整个制造周期提供更好的工艺控制，改善了单个晶圆和不同晶圆间的均匀性，提高了产品良率；其次，更大尺寸的晶圆和更先进的工艺对于杂质更敏感，槽式清洗出现交叉污染的影响会更大，进而危及整批晶圆的良率，会带来高成本的芯片返工支出；最后，单片槽式组合清洗技术的出现，可以在提高清洗能力及效率的同时，减少硫酸的使用量，帮助客户大大降低成本。

  而目前全球半导体清理洗涤设施高度集中于日本企业。根据 Gartner 数据，全球半导体清理洗涤设施行 业的有突出贡献的公司主要是迪恩士(Dainippon Screen)、东京电子(TEL)、韩国 SEMES、拉姆研究 （Lam Research）等等。其中，迪恩士处于绝对领头羊，2020 年占据了全球半导体清理洗涤设施 45.1%的市场占有率，东京电子、SEMES 和拉姆研究分别占据约 25.3%、14.8%和 12.5%。

  盛美半导体在 12 寸线清理洗涤设施处于国内领头羊，产品线丰富，清理洗涤设施营收体量国内最大。盛美基本的产品为集成电路领域的单片清理洗涤设施， 这中间还包括单片 SAPS 兆声波清理洗涤设施、单片 TEBO 兆声波清理洗涤设施、单片背面清理洗涤设施、 单片前道刷洗设备、槽式清理洗涤设施、单片槽式组合清理洗涤设施等。

  同时，盛美半导体的客户结构十分多元，国内主要下游厂商均为公司客户且已确定进入了众多国际领先客户供应体系，公司前道设备主要客户为华虹、长江存储、海力士、中芯国际、合肥长鑫等；后道设备主要客户为长电科技、通富微电、菲律宾 NEPES等；同时硅片制造厂上海新昇、金瑞泓、合晶科技、台湾昇阳等也是公司客户。

  盛美半导体目前主要有三个厂区：其中张江厂区主要是研发中心，川沙厂区主要是制造中心；临港厂区未来将成为盛美上海总部，兼具研发和生产，目前正在建设中，预计 2023 年可投入到正常的使用中，2026年达产。盛美韩国设有原材料采购、销售和研发团队，其中研发团队为一批拥有多年开发经验的韩国工程师，主要研发精力在炉管产品。

  半导体芯情获悉，2021 年初盛美上海年产能为 3.5 亿美元，21年底年产能为 5 亿美元， 22 年底年产能计划增加至 6.25 亿美金。

  海外制裁不断，倒逼国内企业加速并购进程。盛美为何要溢价收购国外设备，目前国内的集成电路企业没办法在短期“完全脱离”全球的供应链及技术，伴随着海外对华“技术封锁”政策的层层加码，加速海外并购无疑会为公司带来更多的确定性。而这也可能是盛美上海在近日高溢价收购韩国公司的真正原因。