金融界2024年3月16日音讯,据国家知识产权局公告,华海清科股份有限公司请求一项名为“一种晶圆清洗设备以及晶圆整理洗刷办法“,公开号CN117711988A,请求日期为2023年12月。
专利摘要显现,本发明供给了一种晶圆清洗设备以及晶圆整理洗刷办法,晶圆清洗设备包含:槽体,其内部构成有供晶圆清洗的容置腔;清洗组件,包含坐落晶圆两边的滚刷;支撑组件,其坐落所述清洗组件的下方并与晶圆边际触摸,用于支撑并限制晶圆在竖直平面内旋转;其间,所述支撑组件包含主动轮和测速轮,所述测速轮装备有制动件,所述制动件用于操控所述测速轮中止旋转。本发明供给的晶圆清洗计划为测速轮装备了制动件,测速轮的转动轴与制动件的转子相连,当冲刷完成后经过制动件对测速轮进行制动,使得测速轮能够及时止停,避免刮伤晶圆。
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