洁净室空气洁净度等级规则区分为四个等级。用于区分洁净室空气洁净度的悬浮粒子粒径在0.1~5um之间。以千级为例，

  大于0.5微米的尘粒数每立方米空气中小于35000个或许每升空气中小于35个，

  大于5微米的尘粒数每立方米空气中小于250个或许每升空气中小于0.25个。要注意的是洁净室空气洁净度等级的查验，应以动态条件下测验的尘粒数为根据。