一、真空泵热过载维护，请查看线路和线.呈现此状况请首要调查体系参数有没有改变，设备忽然断电会引起体系参数归零，导致设备呈现此类报警。

  2.如体系参数无改变，请承认热继电器是否主动维护，按复位键，然后发动真空产生体系。如没有主动维护，请查看电气线路有无短路或断路状况。

  1.如呈现此类报警请查看腔体底部的破真空所用气路电磁闸是不是正常作业，线路有无短路或断路。

  1.所处理产品有严峻渗水状况，真空时刻设备较短，无法在设备时刻内抽到背底线.查看真空门是否关到位。

  四、真空毛病报警，真空计毛病或损坏，请查看并替换线.查看真空计有没有损坏，查看真空计操控线路是否有短路或断路。