卡尔蔡司SMT获得用于确认微光刻光学系统的光学元件的加热状况的办法和设备专利_SMT周边传输设备_开云体育在线登录入口|开运官网下载
卡尔蔡司SMT获得用于确认微光刻光学系统的光学元件的加热状况的办法和设备专利
来源:SMT周边传输设备    发布时间:2025-02-11 19:08:54
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  金融界2024年12月11日音讯,国家知识产权局信息数据显现,卡尔蔡司SMT有限责任公司获得一项名为“用于确认微光刻光学系统的光学元件的加热状况的办法和设备”的专利,授权公告号 CN 112513739 B,请求日期为 2019年5月。

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